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文章出处:真空泵知识 网站编辑: 雅之雷德 阅读量: 发表时间:2020-11-27 15:48:12

  早期的干式泵是由罗茨型多级转子或爪型多级转子串联而成,它们与泵腔内没有接触,用同步齿轮驱动两个平行的转子轴,由于泵腔内没有液体,因此内部间隙应尽量保持很小,以减少气体返流。但这一微小的间隙对过程颗粒的堆积非常敏感,目前解决这一问题的方法是:将惰性气体从泵的入口中充入,或用惰性气体稀释可凝固的腐蚀气体。

  在半导体行业应用的成功,也激励了干泵制造商将其引入化工行业,尽管干泵价格昂贵,但操作成本较低,特别是不存在废液处理问题,这有利于环境和健康。现在干泵有很多种类型,包括涡旋泵,隔膜泵,干旋片泵,罗茨型干泵,爪式干泵和螺旋真空泵。罗茨型干泵、爪式干泵和螺杆式真空泵在化工行业应用中占主导地位。

  液体环形泵结构简单,运动部件少,操作、维修方便,价格也比较低廉。螺旋真空泵虽然价格较高,但其性能非常优越,运行费用较低,不会产生废液,既节能又环保。因此,以上两种真空泵最适合在化工过程中使用。