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文章出处:常见问答 网站编辑: 雅之雷德 阅读量: 发表时间:2020-11-27 14:59:18

  现在各类真空泵的发展越来越受到真空应用场合的影响,一般的常规真空泵已不能满足清洁无油、耐腐蚀、抽出可凝性蒸汽和能够在恶劣条件下工作的要求。所以,近年来干式螺杆泵发展非常迅速,真空制取产品出现了更新换代的情况。

  螺旋真空泵是20世纪90年代初出现的一种理想的泵种,它具有抽速范围宽,结构简单紧凑,泵腔内无摩擦元件,能耗低,无废液排放,操作成本低等优点,广泛应用于半导体、光电、化工、医药、石化、太阳能、低压风洞等领域。

  这类真空系统首先遇到的是预抽真空问题,因为空间模拟装置所抽的气体体积从数千立方米到数万立方米,压力变化从数万立方米到数万立方米,并且所抽气体中含有大量水蒸气或部分氧化氮。如采用常规滑阀真空泵作为前级泵,会出现以下问题:滑阀泵在高进口压力下长时间运行,由于气流输送作用,其喷油现象十分严重,一方面浪费了大量昂贵的油料,另一方面造成了环境污染,由于抽出的气体含有大量的水蒸气或氧化氮,这些气体一旦进入泵内,就会使真空泵油迅速乳化变质,造成油的密封性受损,导致真空性能降低,甚至造成泵损坏,且滑阀泵振动、噪音大等。而螺杆真空泵由于具有清洁无油、抽速大、振动小、噪声低等优点,已成为当前大型空间模拟真空系统的首选产品。